毛細管放電z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置的制造方法
【專利摘要】毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，涉及雜質過濾技術，為了滿足極紫外光刻光源光路中雜質過濾的需求。金屬箔片冷阱包括多層金屬箔片，每層金屬箔片均為圓錐面，多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套，空心支撐管位于金屬箔片冷阱的軸線上，支撐條的一端固定在空心支撐管的一端，空心支撐管的另一端固定在收集鏡支架上，多根支撐條以空心支撐管為中心，呈放射狀均勻分布，金屬箔片的一端固定在支撐條的側部，噴氣裝置位于毛細管與金屬箔片冷阱之間，噴氣裝置的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。本實用新型能清除光路中的雜質，保證了光學收集鏡不受污染，適用于過濾紫外光刻光源光路中的雜質。
【專利說明】
毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及雜質過濾技術，具體涉及極紫外光刻光源光路中雜質的過濾技術。
【背景技術】
[0002]在高純度陶瓷毛細管大電流快脈放電中，通過Z箍縮，工作介質氙氣(Xe)高價電離出Xelt3+，其復合退激發過程將輻射極紫外光，其輻射的13.5nm極紫外光就可做為極紫外光刻的光源。
[0003]但是在毛細管放電過程中，伴隨著碎肩的雜質產生，通過電鏡觀察得到的毛細管內表面的圖像可以看出，在毛細管內表面附著大量的白色點狀物，通過對內表面沉積的物質測到的質譜圖，對質譜圖重構，可知它們都是銅、鋅、硅、鋁等物質的特征譜，這說明毛細管放電過程中，毛細管兩端的電極和陶瓷毛細管，都有相當數量的碎肩噴射出來，這些碎肩一旦投射到后續的光學收集鏡上，對昂貴的收集鏡的污染會是十分嚴重的，所以在收集鏡前一定要設置一雜質過濾裝置。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型是為了滿足極紫外光刻光源光路中雜質過濾的需求，從而提供毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置。
[0005]本實用新型所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，包括噴氣裝置、金屬箔片冷阱、多根支撐條和空心支撐管；
[0006]金屬箔片冷阱包括多層金屬箔片，每層金屬箔片均為圓錐面，多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套，多層金屬箔片的小口徑端的開口朝向毛細管，空心支撐管位于金屬箔片冷阱的軸線上，支撐條的一端固定在空心支撐管的一端，空心支撐管的另一端固定在收集鏡支架上，多根支撐條以空心支撐管為中心，呈放射狀均勻分布，金屬箔片的一端固定在支撐條的側部，噴氣裝置位于毛細管與金屬箔片冷阱之間，噴氣裝置的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。
[0007]本實用新型的雜質過濾裝置，是為了清除極紫外光出射光路中夾雜的毛細管放電電極、陶瓷毛細管本身在大電流快脈沖、高重頻放電過程中噴射的極微小的碎肩狀雜質，在毛細管出口處，設置一噴氣裝置，工作時氣體通過噴氣裝置的氣嘴出射氣體，氣流將以某種流量吹偏光路中有一定質量的雜質碎肩，使之偏離光路的光軸方向，這些碎肩雜質物，將附著到雜質過濾裝置上，做到通過雜質過濾裝置后的極紫外光中，清除了有害的雜質成份，保證了光學收集鏡不受污染。
[0008]本實用新型適用于過濾紫外光刻光源光路中的雜質。
【附圖說明】
[0009]圖1是【背景技術】中的電鏡觀察到的毛細管內表面的圖像；
[0010]圖2是【具體實施方式】一所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置在應用系統中的示意圖；
[0011]圖3是【具體實施方式】一所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置的結構示意圖；
[0012]圖4是圖3的左視圖。
【具體實施方式】
[0013]【具體實施方式】一:參照圖2至圖4具體說明本實施方式，本實施方式所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，包括噴氣裝置1、金屬箔片冷阱2、多根支撐條3和空心支撐管4;
[0014]金屬箔片冷阱2包括多層金屬箔片，每層金屬箔片均為圓錐面，多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套，多層金屬箔片的小口徑端的開口朝向毛細管5，空心支撐管4位于金屬箔片冷阱2的軸線上，支撐條3的一端固定在空心支撐管4的一端，空心支撐管4的另一端固定在收集鏡支架7上，多根支撐條3以空心支撐管4為中心，呈放射狀均勻分布，金屬箔片的一端固定在支撐條3的側部，噴氣裝置I位于毛細管5與金屬箔片冷阱2之間，噴氣裝置I的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。
[0015]【具體實施方式】二:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置作進一步說明，本實施方式中，所述空心支撐管4的外徑為30mm，壁厚 6mm。
[0016]【具體實施方式】三:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置作進一步說明，本實施方式中，金屬箔片的厚度均為
0.5mm ο
[0017]該雜質過濾裝置，與其后緊接著的極紫外光收集系統匹配，極紫外光收集系統是一個多層(通常8-10層)雙非球面面型(橢圓面型加雙曲面面型)的薄殼的收集鏡片6組成的。所以雜質過濾裝置應是一種多層的，層數與光學收集鏡系統一致，故這一裝置是從口徑小到口徑大，一層層套裝的組合。甚薄的錐筒式金屬箔片冷阱，它的壁厚應小于收集鏡片6的壁厚，收集鏡通常壁厚2mm，雜質過濾裝置每層錐筒式金屬箔片的厚度應小于3mm，本實施方式取0.5mm的金屬金屬箔片。
[0018]【具體實施方式】四:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置作進一步說明，本實施方式中，支撐條3為四根。
[0019]【具體實施方式】五:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置作進一步說明，本實施方式中，最外層金屬箔片的圓錐角α為60°，最內層金屬箔片的圓錐角β為22.1022°。
[0020]錐筒式雜質過濾裝置，在錐筒小口徑端，錐筒的張角需充分覆蓋毛細管中極紫外光出射的出射角方向，即與面對毛細管出口方向極紫外光收集角覆蓋的空間相匹配，大口徑端一一對應光學收集鏡，這樣一個精細設計，確保毛細管極紫外光通過雜質過濾裝置，不會減少空間收集效率。
【主權項】
1.毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，其特征在于，包括噴氣裝置(I)、金屬箔片冷阱(2)、多根支撐條(3)和空心支撐管(4);金屬箔片冷阱(2)包括多層金屬箔片，每層金屬箔片均為圓錐面，多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套，多層金屬箔片的小口徑端的開口朝向毛細管(5)，空心支撐管(4)位于金屬箔片冷阱(2)的軸線上，支撐條(3)的一端固定在空心支撐管(4)的一端，空心支撐管(4)的另一端固定在收集鏡支架(7)上，多根支撐條(3)以空心支撐管(4)為中心，呈放射狀均勻分布，金屬箔片的一端固定在支撐條(3)的側部，噴氣裝置(I)位于毛細管(5)與金屬箔片冷阱(2)之間，噴氣裝置(I)的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。2.根據權利要求1所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，其特征在于，所述空心支撐管(4)的外徑為30mm，壁厚6_。3.根據權利要求1或2所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，其特征在于，金屬箔片的厚度均為0.5mm。4.根據權利要求1或2所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，其特征在于，支撐條(3)為四根。5.根據權利要求1或2所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質過濾裝置，其特征在于，最外層金屬箔片的圓錐角α為60°，最內層金屬箔片的圓錐角β為22.1022°。
【文檔編號】B08B5/02GK205673292SQ201620569387
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月13日 公開號201620569387.7, CN 201620569387, CN 205673292 U, CN 205673292U, CN-U-205673292, CN201620569387, CN201620569387.7, CN205673292 U, CN205673292U
【發明人】趙永蓬, 徐強, 王騏
【申請人】哈爾濱工業大學